Microelectronics processing : chemical engineering aspects /

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Інші автори: Hess, Dennis W., Jensen, Klavs F., 1952-
Формат: Книга
Мова:English
Опубліковано: Washington, DC : American Chemical Society, c1989.
Серія:Advances in chemistry series ; 221
Предмети:
Опис
Фізичний опис:xiv, 547 p. : ill. ; 24 cm.
Бібліографія:Includes bibliographical references.
ISBN:0841214751