Microelectronics processing : chemical engineering aspects /
Salvato in:
| Altri autori: | , |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Washington, DC :
American Chemical Society,
c1989.
|
| Serie: | Advances in chemistry series ;
221 |
| Soggetti: |
| Descrizione fisica: | xiv, 547 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 0841214751 |