Microelectronics processing : chemical engineering aspects /
Збережено в:
| Інші автори: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Washington, DC :
American Chemical Society,
c1989.
|
| Серія: | Advances in chemistry series ;
221 |
| Предмети: |
| Фізичний опис: | xiv, 547 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Бібліографія: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 0841214751 |