Design and operation of clean rooms /
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| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Detroit, Mich. :
Business News Publishing,
1970.
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| Edizione: | Rev. ed. |
| Soggetti: |
| Descrizione del documento: | Includes index. |
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| Descrizione fisica: | ix, 452 p. : ill. ; 27 cm. |
| Bibliografia: | Includes bibliographies. |