Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Guardat en:
Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu: American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry, American Chemical Society. Meeting
Altres autors: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
Format: Llibre
Idioma:English
Publicat: Washington, D.C. : The Society, 1983.
Col·lecció:ACS symposium series ; 219.
Matèries:
Microlithography > Congresses.
Photoresists > Congresses.
Plasma etching > Congresses.
Semiconductors > Etching > Congresses.
Descripció
Descripció física:ix, 363 p. : ill. ; 24 cm.
Bibliografia:Includes bibliographical references and index.
ISBN:0841207755

Ítems similars