Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
Corporate Authors: American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry, American Chemical Society. Meeting
מחברים אחרים: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
פורמט: ספר
שפה:English
יצא לאור: Washington, D.C. : The Society, 1983.
סדרה:ACS symposium series ; 219.
נושאים:
Microlithography > Congresses.
Photoresists > Congresses.
Plasma etching > Congresses.
Semiconductors > Etching > Congresses.
תיאור
תיאור פיזי:ix, 363 p. : ill. ; 24 cm.
ביבליוגרפיה:Includes bibliographical references and index.
ISBN:0841207755

פריטים דומים