Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA /
محفوظ في:
مؤلف مشترك: | |
---|---|
مؤلفون آخرون: | |
التنسيق: | وقائع المؤتمر كتاب |
اللغة: | English |
منشور في: |
AMF O'Hare [Chicago], IL :
Scanning Electron Microscopy, Inc.,
c1984.
|
الموضوعات: |
وصف مادي: | xii, 372 p. : ill. ; 29 cm. |
---|---|
بيبلوغرافيا: | Includes bibliographies and indexes. |
ردمك: | 0931288304 |