Semiconductor processing : a symposium /
Сохранить в:
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Philadelphia, PA :
ASTM,
1984.
|
| Серии: | ASTM special technical publication ;
850 |
| Предметы: |
| Примечание: | "ASTM publication code number (PCN) 04-850000-46." |
|---|---|
| Объем: | 671 p. : ill. |
| Библиография: | Includes bibliographies and index. |
| ISBN: | 0803104030 |