Emerging semiconductor technology : a symposium /
Tallennettuna:
| Yhteisötekijät: | , |
|---|---|
| Muut tekijät: | , |
| Aineistotyyppi: | Konferenssijulkaisu Kirja |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Sarja: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Aiheet: |
| Huomautukset: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Ulkoasu: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografia: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |