Fundamentals of microelectronics processing /

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lee, Hong H.
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York : McGraw-Hill, c1990.
Schriftenreihe:McGraw-Hill chemical engineering series
Schlagworte:
LEADER 01041cam a2200277 a 4500
001 c000225193
003 CARM
005 20061106115757.0
008 890511s1990 nyua b 001 0 eng
019 1 |a 6469480  |5 LACONCORD2021 
020 |a 0070370567 :  |c $46.95 
035 |a (OCoLC)19774366  |5 LACONCORD2021 
040 |a LC  |b eng  |c LC  |d LC 
050 0 0 |a TK7874  |b .L34 1990 
082 0 0 |a 621.381/5  |2 20 
100 1 |a Lee, Hong H. 
245 1 0 |a Fundamentals of microelectronics processing /  |c Hong H. Lee. 
260 |a New York :  |b McGraw-Hill,  |c c1990. 
300 |a xvi, 514 p. :  |b ill. ;  |c 25 cm. 
440 0 |a McGraw-Hill chemical engineering series 
504 |a Includes bibliographies and index. 
650 0 |a Integrated circuits  |x Design and construction. 
650 0 |a Integrated circuits  |x Materials. 
852 8 |b CARM  |h A2:AN27G0  |i C08386  |p 0314651  |f BK 
999 f f |i b3fe7138-7cf0-58ec-b9e3-f70fa83f3dda  |s b9295728-72a9-55d2-9ac3-5a139ae43fbd 
952 f f |p Can circulate  |a CAVAL  |b CAVAL  |c CAVAL  |d CARM 1 Store  |e C08386  |f A2:AN27G0  |h Other scheme  |i book  |m 0314651