Sputtering by particle bombardment /
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| Weitere Verfasser: | , |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Berlin ; New York :
Springer-Verlag,
1981-c1991.
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| Schriftenreihe: | Topics in applied physics ;
v. 47, 52, 64 |
| Schlagworte: |
| Beschreibung: | 3 v. : ill. ; 24 cm. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographical references and indexes. |
| ISBN: | 0387105212 (v. 1 : U.S.) 3540105212 (v.1) 3540125930 (v.2) 0387125930 (v. 2 : New York) 0387534288 (v. 3) 3540534288 (v. 3 : New York) |