Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III : 16-17 October 1996, Austin, Texas /

Guardat en:
Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
Altres autors: Chen, Ray T., Lowell, John, Mathur, Jagdish P.
Format: Llibre
Idioma:English
Publicat: Bellingham, Wash. : SPIE, 1996.
Col·lecció:Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 2877.
Matèries:
Descripció
Descripció física:ix, 218 p. : ill. ; 28 cm.
Bibliografia:Includes bibliographical references and index.
ISBN:0819422754