Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III : 16-17 October 1996, Austin, Texas /
Guardat en:
Autor corporatiu: | |
---|---|
Altres autors: | , , |
Format: | Llibre |
Idioma: | English |
Publicat: |
Bellingham, Wash. :
SPIE,
1996.
|
Col·lecció: | Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ;
v. 2877. |
Matèries: |
Descripció física: | ix, 218 p. : ill. ; 28 cm. |
---|---|
Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
ISBN: | 0819422754 |