Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III : 16-17 October 1996, Austin, Texas /
Đã lưu trong:
| Tác giả của công ty: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | , , |
| Định dạng: | Sách |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Bellingham, Wash. :
SPIE,
1996.
|
| Loạt: | Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ;
v. 2877. |
| Những chủ đề: |
| Mô tả vật lý: | ix, 218 p. : ill. ; 28 cm. |
|---|---|
| Thư mục: | Includes bibliographical references and index. |
| số ISBN: | 0819422754 |