Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III : 16-17 October 1996, Austin, Texas /
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| Autor Corporativo: | |
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| Outros Autores: | , , |
| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Bellingham, Wash. :
SPIE,
1996.
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| coleção: | Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ;
v. 2877. |
| Assuntos: |
CARM 1 Store
| Área/Cota: |
A3:AE31C0 F06472 |
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| Cópia 1 | Disponível Localização |