Evaluating a chip, wafer, or lot using SUXES, SPICE, and STAT2 /

Guardat en:
Dades bibliogràfiques
Autor principal: Marshall, J. C. (Janet C.)
Autor corporatiu: National Institute of Standards and Technology (U.S.)
Altres autors: Mattis, Richard L.
Format: Llibre
Idioma:English
Publicat: Gaithersburg, MD : Washington, DC : U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology ; For sale by the Supt. of Docs., U.S. G.P.O., 1992.
Col·lecció:Semiconductor measurement technology
NIST special publication ; 400-90
Matèries:
Descripció
Descripció de l’ítem:"April 1992."
Descripció física:iv, 140 p. : ill. ; 28 cm.
Bibliografia:Includes bibliographical references (p. 41-42)