Semiconductor measurement technology : thin film reference materials development final report for CRADA CN-1364 /
Guardat en:
| Format: | Llibre |
|---|---|
| Idioma: | Undetermined |
| Publicat: |
Gaithersburg, MD :
U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology,
1998.
|
| Col·lecció: | 830NIST special publication ;
400-100 |
| Matèries: |
| Descripció física: | 38 p. ; 29 cm. |
|---|