A laser scanner for semiconductor devices /
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| מחברים אחרים: | |
| פורמט: | ספר |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Washington :
U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards : for sale by the Supt. of Docs., U.S. Govt. Print. Off,
1977.
|
| סדרה: | NBS special publication ;
400-24. |
| נושאים: |
| תיאור פיזי: | vii, 64 p. : ill ; 27 cm. |
|---|