A laser scanner for semiconductor devices /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Sawyer, David E.
מחברים אחרים: Berning, David W. (joint author.)
פורמט: ספר
שפה:English
יצא לאור: Washington : U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards : for sale by the Supt. of Docs., U.S. Govt. Print. Off, 1977.
סדרה:NBS special publication ; 400-24.
נושאים:
תיאור
תיאור פיזי:vii, 64 p. : ill ; 27 cm.