Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA /

Αποθηκεύτηκε σε:
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Pfefferkorn Conference Monterey, Calif.
Άλλοι συγγραφείς: Kyser, David F.
Μορφή: Πρακτικό Συνεδρίου Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: AMF O'Hare [Chicago], IL : Scanning Electron Microscopy, Inc., c1984.
Θέματα:
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:xii, 372 p. : ill. ; 29 cm.
Βιβλιογραφία:Includes bibliographies and indexes.
ISBN:0931288304