Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA /
Αποθηκεύτηκε σε:
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | |
Μορφή: | Πρακτικό Συνεδρίου Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
AMF O'Hare [Chicago], IL :
Scanning Electron Microscopy, Inc.,
c1984.
|
Θέματα: |
Φυσική περιγραφή: | xii, 372 p. : ill. ; 29 cm. |
---|---|
Βιβλιογραφία: | Includes bibliographies and indexes. |
ISBN: | 0931288304 |