Semiconductor measurement technology : survey of optical characterization methods for materials, processing, and manufacturing in the semiconductor industry /
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակ: | |
---|---|
Այլ հեղինակներ: | , |
Ձևաչափ: | Գիրք |
Լեզու: | English |
Հրապարակվել է: |
Gaithersburg, MD :
U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology,
1995.
|
Շարք: | NIST special publication ;
400-98 |
Խորագրեր: |
CARM 1 Store
Դասիչ: |
A3:AE31C0 F06472 |
---|---|
Պատճեն 1 | Հասանելի է Տեղադրեք պահում |