Semiconductor measurement technology : survey of optical characterization methods for materials, processing, and manufacturing in the semiconductor industry /
שמור ב:
מחבר ראשי: | |
---|---|
מחברים אחרים: | , |
פורמט: | ספר |
שפה: | English |
יצא לאור: |
Gaithersburg, MD :
U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology,
1995.
|
סדרה: | NIST special publication ;
400-98 |
נושאים: |
CARM 1 Store
סימן המיקום: |
A3:AE31C0 F06472 |
---|---|
עותק 1 | זמין ביצוע הזמנה |