Handbook of multilevel metallization for integrated circuits : materials, technology, and applications /
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| Weitere Verfasser: | , , |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes,
c1993.
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| Schriftenreihe: | Materials science and process technology series
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Publisher description |
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