User's manual for the program MONSEL-1 : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology /

User's manual for the program MONSEL-1 : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Lowney, J. R. (Jeremiah Ralph), 1946-
مؤلف مشترك: National Institute of Standards and Technology (U.S.)
مؤلفون آخرون: Marx, Egon
التنسيق: كتاب
اللغة:English
منشور في: Gaithersburg, MD : Washington, DC : U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology ; For sale by the Supt. of Docs., U.S. G.P.O., 1994.
سلاسل:Semiconductor measurement technology
NIST special publication ; 400-95
الموضوعات:
Scanning electron microscopy > Computer programs > Handbooks, manuals, etc.
Electrons > Scattering > Mathematical models > Computer programs > Handbooks, manuals, etc.
Monte Carlo method > Computer programs > Handbooks, manuals, etc.

CARM 1 Store

تفاصيل المقتنيات من CARM 1 Store
رقم الطلب: A2:AF26H0 F01125
النسخة 1 متاح  أحجز النسخة

مواد مشابهة